TECHNOLOGY

MEMS Blade Solution

MEMS Blade Solution

2D MEMS Blade는 DRAM/NAND Memory 및 CIS, DC용 Probe Card 제작에 적용되는 고정밀 MEMS Probe로, Rh Tip을 장착하여 고성능의 Electrical, Mechanical 특성을 제공을 하고 있습니다. 또한 Display Probe Unit용 Blade Pin의 경우, 30um 이상 피치대응이 가능합니다.

Features

  • · MEMS 공정을 활용한 고정밀, 고신뢰성 멤스 프로브 제작 (전공정 내재화)
  • · Rh(로듐) 프로브 팁 구현을 통해 전기적, 기계적 특성 향상
  • · 요구 사양, 요구 성능에 따른 커스터마이징 제품 디자인 설계 및 제조 가능
  • · CMP 및 3D AOI검사를 통해 Thickness 정밀도 최고 수준 관리 (±1um 이내 관리)

Application

  • DRAM/NAND Probe Card용 MEMS Probe Pin, CIS, DC Probe, Probe Unit용 MEMS Blade etc